Specialty Gas Analysis: A Practical Guidebook (Hardcover) (ISBN-13: 9780471185987)

Zunehmend setzt man in der Halbleiterindustrie gasförmige Ausgangsstoffe ein. Ganz klar: Dies bewirkt, da die Reinheit der Gase in den Mittelpunkt des Interesses rückt. Anbieter technischer Gase prüfen die Qualität ihrer Produkte zu oft noch mit primitiven, eigentlich längst veralteten Methoden. Dieses Buch will Ihnen einen systematischen, kompakten Überblick über modernste Technologien der Gasanalyse bieten. Sie erhalten das Rüstzeug, Ihre Analysen effektiv und sinnvoll planen und bewerten zu können sowie über eventuell sinnvolle Neuanschaffungen von Geräten zu entscheiden. - Für Analytiker in Halbleiterherstellung, Elektronik und alle, die hochreine Gase herstellen und anbieten!

Author: Jeremiah D. Hogan
ISBN-10: 0471185981
ISBN-13: 9780471185987
Publisher: Wiley-Vch
Language: English
Published: 12/27/1996
Pages: 200
Format: Hardcover
Weight: 1.11lbs
Size: 9.58h x 6.34w x 0.69d